2022.06.16 大真空徳島事業所でクリーンルーム増床水晶ウエハーフォトリソ加工開始

6月から水晶ウエハーのフォトリソ加工を開始する徳島事業所

 大真空は、徳島事業所(徳島県吉野川市)に増床したフォトリソ工程用クリーンルームで水晶ウエハーのフォトリソ加工を6月から開始する。

 徳島事業所でフォトリソ前工程処理を始めることで、フォトリソ前工程工場は鳥取事業所(鳥取市)と合わせて2工場体制で増産対応を図る。鳥取事業所と合わせフォトリソタイプ水晶片の生産量は従来の約2倍になる。BCP(事業継続計画)対策も敷けた。

 創業60周年を迎えた2019年11月を機...  (つづく)