2022.06.27 キヤノン KrF半導体露光装置のオプション

KrF半導体露光装置FPA－6300ES6a

　キヤノンは、KrF半導体露光装置「FPA－6300ES6a」の生産性向上オプション「Grade10」を8月上旬に発売する。

　FPA－6300ES6aは、メモリーやロジックなど半導体量産工場向け露光波長248ナノメートルのフッ化クリプトンのエキシマレーザー光を利用した半導体露光装置。2012年4月に発売以来、継続的に生産性向上オプションを開発することで装置のアップグレードを行い、高い信頼と評価を得ている。

...　　(つづく)