2022.08.05 日本トムソン、メカトロシリーズ製品拡充アライメントステージSAのアップデートモデル
アライメントステージSAの構造
日本トムソンは、直動案内機器の精密加工技術と、エレクトロニクス技術を組み合わせた「メカトロシリーズ」として製品を拡充している。アライメントステージSAシリーズのアップデートモデルを8月から販売を開始した。
同社のメカトロ製品は精密位置決めテーブル、アライメントステージ、アライメントテーブル・モジュール、回転ステージ、精密昇降テーブル、ナノリニア、リニアモーターテーブルなどがある。需要が拡大している半導体製造装置をはじめ、フラ... (つづく)
