2022.08.18 OKIがMEMS本格進出へクリスタルと連携、新技術開発

試作されたデバイス

超音波センサー感度を飛躍的アップ

　OKIと、単結晶薄膜を手掛けるベンチャー、KRYSTAL（クリスタル、山口県宇部市）は17日、新しいタイプのMEMSデバイスの試作に成功したと発表した。単結晶圧電薄膜の異種材料結合と、超音波センサーの感度を従来の約20倍にすることに、それぞれ成功したもの。

　この結果を踏まえOKIは、ウエハー...　　(つづく)