2022.08.18 OKIがMEMS本格進出へクリスタルと連携、新技術開発
試作されたデバイス
超音波センサー感度を飛躍的アップ
OKIと、単結晶薄膜を手掛けるベンチャー、KRYSTAL(クリスタル、山口県宇部市)は17日、新しいタイプのMEMSデバイスの試作に成功したと発表した。単結晶圧電薄膜の異種材料結合と、超音波センサーの感度を従来の約20倍にすることに、それぞれ成功したもの。
この結果を踏まえOKIは、ウエハー... (つづく)
試作されたデバイス
OKIと、単結晶薄膜を手掛けるベンチャー、KRYSTAL(クリスタル、山口県宇部市)は17日、新しいタイプのMEMSデバイスの試作に成功したと発表した。単結晶圧電薄膜の異種材料結合と、超音波センサーの感度を従来の約20倍にすることに、それぞれ成功したもの。
この結果を踏まえOKIは、ウエハー... (つづく)
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