2022.09.23 堀場製作所がホウ素から測定可能なX線分析器、高精度に軽元素分析

元素分析装置「EMGA-Expert／Pro」

　堀場製作所の元素分析装置「EMGA」シリーズは、材料中に含まれる酸素・窒素・水素の含有量を高精度に分析する。半導体デバイス向けシリコンウエハーをはじめ、先端材料の研究開発や品質管理で活用されている。

　1グラム以下の微量な試料をるつぼで融解させ、試料に含まれる元素をガス化して検出して目的の元素の含有量を分析する。

　炉を燃焼させて製品を生成する鉄鋼メーカーでは、品質管理上、含有する成分を分析する時間の短縮は...　　(つづく)