2022.09.29 アンリツが波長掃引光源を発売　ウエハー膜厚を高精度測定組み込み型　

アンリツの波長掃引光源「AQA0600A」

　アンリツは、センシング用の組み込み型小型モジュールである波長掃引光源「AQA0600A」（掃引周波数1.25キロヘルツ）を発売した。MEMS技術で開発し、キロヘルツオーダーの高速波長掃引が可能だ。

　40×27×31.6ミリメートルの小型・金属パッケージに内蔵する。半導体ウエハーや金属の塗装膜厚・多層構造などの膜厚計測装置をはじめ、医療・化学分野のOCT（光コヒーレンストモグラフィー：光干渉断層計）装置、細胞や組織を画像解析す...　　(つづく)