2022.12.14 ノベルクリスタルテクノロジー 結晶内欠陥を全数可視化 ベータ型酸化ガリウム 高品質化加速に期待
酸化ガリウム基板
ノベルクリスタルテクノロジーは、ベータ型酸化ガリウム（β-Ga₂O₃）結晶内部のさまざまな格子欠陥を、短い測定時間かつ非破壊で全数可視化することに成功した。ファインセラミックスセンター、兵庫県立大学との共同成果。X線回折現象の一つである「異常透過現象」を利用し、レントゲン撮影で人間の体を検査するように、通常のデバイス作製に使用される厚さ約0.7ミリメートルのβ-Ga₂O₃全体に含まれる欠陥を全数検出したことは、3者によれば世界で初めてとなる。同技... (つづく)
