2022.12.19 アドバンテストが走査型電子顕微鏡EUVマスク評価に対応
走査型電子顕微鏡「E5620」
アドバンテストは、走査型電子顕微鏡（DR-SEM）の新製品「E5620」を発売した。
DR-SEMは、フォトマスクや、マスクブランクス（フォトマスクの原版）の微小な欠陥を評価・分析することができる。
E5620は、高精度・高スループット欠陥レビュー性能により、次世代フォトマスクの生産品質向上とマスク製造の処理時間（TAT）短縮に大きく貢献する。
安定性の高いイメージキャプチャー技術... (つづく)
