2022.12.21 THKが特殊環境向け製品拡充、高機能非磁性・超高耐食製品を開発
THKの高機能非磁性・超高耐食製品（セミコンジャパンに出展）
THKは、強磁場や腐食性薬剤の影響を伴う特殊環境下でも、通常環境に匹敵する直動・回転案内性能が発揮できる「高機能非磁性・超高耐食製品」を開発し、同製品を「セミコンジャパン2022」に出展した。
半導体の製造プロセスでは、超微細回路パターンを描く電子線描画装置やフォトレジストなどを用いたフォトリソグラフィー工程などは磁気の影響を極端に嫌い、特殊薬剤による耐食性を極限までに要求される特殊環境と呼ばれる工程が数多く存在する。 (つづく)
