2023.03.03 米アプライドが新パターン形成技術 リソグラフィーのコストを大幅削減 時間短縮、環境負荷の軽減も訴求
新技術のシステム
米アプライド・マテリアルズは2月末、新しいパターン形成技術を発表した。これを盛り込んだ装置では、リソグラフィーの時間やコストを削減できるという。複雑でコストのかかる極端紫外線（EUV）リソグラフィーで強みを持つASMLに対抗するとみられる。新しい計測システムも発表した。
多くのメーカーではチップ面積とコストを最適化するために、露光装置の技術を採用しつつ、さらに精密にするため、複数回のパターニングをする例が多い。時間やエネルギ... (つづく)
