2023.05.02 AGCエレクトロニクス　EUVマスクブランクス　25年に生産能力3割増

AGCエレクトロニクス

　AGCは、100％子会社のAGCエレクトロニクス（福島県郡山市）でEUV露光用フォトマスクブランクス（EUVマスクブランクス）生産能力の増強を決めた。

　2024年1月から稼働を開始し、段階的に増強を行うことによって、AGCグループのEUVマスクブランクス生産能力は、25年に現在の約30％増となる。

　UVマスクブランクスは、非常に微細な半導体の製造工程であるEUV露光工程に必要とされるもので、半導体の高性...　　(つづく)