2023.06.26 3種類以上の混合ガスでリアルタイムに濃度測定　東芝が世界初の技術

　東芝は25日、3種類以上が含まれる混合ガスで濃度測定ができる小型センシング技術を世界で初めて開発したと発表した。独自のMEMS技術を活用し、感度の異なる超小型センサーを1基板上に一括形成。各センサーが検出した値をアルゴリズム処理することで、高速化や小型化をしつつ、複数ガスの同時濃度測定を実現した。

　従来比200分の1以下のサイズかつ150倍以上の速度で、複数のガス濃度をモニタリングできる。CO₂を資源化する技術で、変換効率の...　　(つづく)