2023.07.26 東京エレクトロンが山梨の製造・開発子会社に新棟 半導体製造装置など開発
東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ穂坂事業所新開発棟
東京エレクトロンは、開発・製造子会社の東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ穂坂事業所（山梨県韮崎市）に建設していた新開発棟が完成した。
同子会社（山梨県韮崎市、藤井事業所）は熱処理成膜装置、枚葉成膜装置、ガスケミカルエッチング装置、テストシステム、FPDプラズマエッチング／アッシング装置の開発・製造を行っている。
新開発棟は鉄骨造／免震構造の地上4階、地下1階建て、延べ床面積約2万1000平方... (つづく)
