2023.07.26 薄膜型フレキシブル熱流センサー 面直熱流を高精度測定 世界初 東大と日東電工が共同開発
東京大学と日東電工は、実使用環境で高精度な面直熱流の計測が可能な世界初の薄膜型フレキシブル熱流センサーを共同開発した。磁気熱電効果である異常ネルンスト効果を用いた熱流センサーで課題だった測定体表面の温度ムラによる測定誤差の要因となるオフセット信号を打ち消す素子構造を導入した。これにより任意の方向に熱が流れる測定対象においても高感度に面直熱流が測定可能な薄膜型センサーを開発できた。
この開発により、量産プロセスであるロール・ツ... (つづく)
