2023.08.31 三菱電機が12インチSiウエハー対応生産ラインを福山工場に設置

12インチSiウエハーと抵抗測定器（左の作業者が持つSiウエハーが今回設置したラインで製造する12インチ、右は8インチ）

　三菱電機は29日、パワー半導体の製造（ウエハープロセス工程）を行うパワーデバイス製作所　福山工場に、同社として初となる12インチSi（ケイ素）ウエハー対応生産ラインの設置を完了したと発表した。また、この生産ラインで製造したウエハーを用いたパワー半導体チップを試作・評価した結果、設計通りの性能が得られたことを確認した。

　同社は、Siパワー半導体のウエハープロセス工程の生産能力を2025年度に20年度比で約2倍に増強するため、福...　　(つづく)