2023.09.15 【セミコン台湾　日系企業の取り組み】〈2〉シンフォニアテクノロジー

開発品もパネル展示し注目を集めた

各種クリーン搬送システム紹介

　シンフォニアテクノロジーは、ロードポートやEFEM（大気搬送）、ウエハーの移載を行うソーターなど、各種クリーン搬送システムを展示した。

　ロードポートは半導体製造装置のフロント部に設置され、ウエハー格納用ポッド（FOUP、SMIFなど）内のウエハーを出し入れする装置。前工程向けには300／200ミ...　　(つづく)