2023.09.19 【セミコン台湾　日系企業の取り組み】〈3〉レーザーテック

EUV向け検査装置をメインで紹介

EUV向け検査装置をメイン展示

　レーザーテックは最先端の半導体製造で導入が進むEUVリソグラフィーに照準を定め、EUV向け検査装置をメインで紹介。開発が進む先進パッケージ技術を支える測定装置なども提案し、最先端半導体の技術進展を後押しする。

　ブースでは、世界で初めてEUV光を用いたアクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装...　　(つづく)