2023.09.19 【セミコン台湾　日系企業の取り組み】〈3〉堀場エステック

幅広い製品・ソリューションを展示した

小流量のガス制御可能　マスフローコントローラーを紹介

　堀場製作所グループで半導体事業を担う堀場エステックは、ガスや薬液などのプロセス材を制御する幅広い製品を展示した。長年培った独自の分析・計測・制御技術を強みに、最先端の半導体製造を支える。

　同社の主力製品であるマスフローコントローラーは、流体の質量流量を計測し流体制御を行う...　　(つづく)