2023.09.22 ウシオ電機が電子ビーム生成技術のPeSに出資 半導体検査事業を強化
ウシオ電機は、次世代電子ビーム生成技術を持つPhoto electron Soul（PeS、名古屋市中区）へ出資する。
このほど、電子ビーム方式ウエハーパターン検査装置に搭載される半導体フォトカソードシングル電子ビーム生成システムの総代理店契約を締結したと発表した。
PeSは、2015年設立の名古屋大学発ベンチャー。同社の保有する半導体フォトカソード技術は電子ビーム生成技術の一つで、材料に光を照射するこ... (つづく)
