2023.09.27 【セミコン台湾　日系企業の取り組み】〈7〉サムコ

化合物半導体向け製品をパネルで紹介

化合物半導体特化の製造装置提案

　サムコは、SiCやGaNなどの化合物半導体に特化した製造装置を提供している。今回はエッチング工程向けのクラスターツールシステム「クラスターH」のほか、プラズマ処理装置「Aqua Plasma（アクアプラズマ）」などを提案。

　クラスターHは、真空搬送プラットフォームを中心に最大三つのプロセスモジ...　　(つづく)