2023.10.04 KOKUSAI ELECTRICが台湾で積極的活動 最先端デバイス向けの高難易度成膜を実現 セミコン台湾に出展、プロセス装置などを紹介
成膜プロセス装置やトリートメント装置を紹介
KOKUSAI ELECTRICは、微細化の追求と3次元化に伴い複雑化する先端半導体の製造を支える技術開発に取り組んでいる。最先端の半導体製造技術をけん引する台湾で積極的な活動を展開し、さらなる成長を目指す。
台北市で9月初旬に開催された「セミコン台湾2023」では、成膜プロセス装置やトリートメント（膜質改善）プロセス装置を中心に、高難易度成膜を実現するALD技術を紹介。ロジック、メモリーともに複雑化する最先端デバイス製造に... (つづく)
