2023.10.06 レーザーテックが高輝度EUVプラズマ光源開発 EUVリソグラフィーの品質・生産性向上に貢献
高輝度EUVプラズマ光源「URASHIMA」
レーザーテックはこのほど、高輝度EUVプラズマ光源「URASHIMA（ウラシマ）」を開発した。
同社は2019年に世界初となるアクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置「ACTIS A150」をリリースした。同製品は、先端半導体デバイス用のマスク製造プロセスやマスク運用において既に不可欠な製品となっており、世界中のマスクショップやウエハーファブへの導入が進んでいる。今後は、ACTISシリーズにURASHIMAの適用を進め... (つづく)
