2023.10.23 Canon EXPO 2023、基盤技術を多数展示 NIL半導体装置を紹介
会場で注目を集めたナノインプリント半導体製造装置の原寸大模型
キヤノンが8年ぶりに開催した技術展示会「Canon EXPO 2023」（パシフィコ横浜ノース）は20日に閉幕した。
インダストリアル分野では産業の高度化に寄与する基盤技術が多数紹介された。今月発表されたばかりのナノインプリント半導体製造装置「FPA-1200NZ2C」の原寸大模型が会場入り口付近で展示され、来場者の注目を集めた。
ナノインプリントリソグラフィー（NIL）技術を活用し、ウエハー上に塗布さ... (つづく)
