2023.11.08 レーザーテック、マスク検査の感度向上へ 高輝度EUV光源、高い安定性
「デブリフリー」が実現した高輝度EUVプラズマ光源「URASHIMA」
レーザーテックは高輝度EUVプラズマ光源「URASHIMA（ウラシマ）」を開発した（既報）。高輝度で高い安定性に加え、低消費電力で、マスクがデブリで汚染されない「デブリフリー」といった特長がある。
ウラシマは、EUVパターンマスク欠陥検査装置「ACTISシリーズ」への適用を進める。顧客の高い要望に応える要素技術の位置付けで外販の予定はないが、投入で競合に対する差別化を図りたい考えだ。
同社は9月、日経平... (つづく)
