2023.12.08 東レエンジMI、車載用半導体ウエハー検査装置を発売 検査速度2倍に向上
検査速度2倍に向上した「インスペクトラSR-Ⅳ」
東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー（東レエンジMI〈TASMIT〉）は5日、半導体ウエハー外観検査装置「インスペクトラ」シリーズの新製品「インスペクトラSR-Ⅳ」を今月発売した。
車載用半導体など高精度で高効率なウエハー検査に対する要求の高まりに応える。
半導体の欠陥検査では倍率5～20倍の顕微鏡で行う「高倍率検査」の場合、顕微鏡の視野の大きさが狭まるため検査時間が長くかかる傾向がある。特に... (つづく)
