クリエイティブテクノロジーは、半導体製造プロセスにおける微細化・高密度化の流れに伴って需要が急増している、パーティクル対策に着目した。

　静電チャック技術の仕組みを応用し、パーティクル除去に役立つさまざまなツールを提案する。

　顧客の要望に応える、独自性の高い製品も披露する。

　同社の「パーティクルコレクター」は、歩留まり改善に効果的なツール。大気環境や真空環境とさまざまなユースケースに対応したバリエーションをそろえ、ナノメートルレベルのパーティクルも引き寄せ捉える。

　ウエハー型ステージクリーナー「イレイザーディスク（eRaser Disk）」は、半導体製造装置向けのインラインステージクリーニングツール。ダミーウエハーの代わりに使用しクリーニングの時間を削減して、装置の停止する時間を短縮し、生産性を向上させる。

　シリコンウエハー上に弾性のある特殊樹脂をコーティングし、ステージの平面部・エッジ部に接触したパーティクルを捕捉する。洗浄によって、繰り返し使用できる。ノッチまで吸着できるのが強みだ。

　「IonPad（イオンパッド）」は特殊樹脂コーティングにより、対象物との界面に分子間力を発現させ、対象物を把持するパッドだ。

　高い摩擦力を有し、シリコンウエハー搬送時の滑り止めとして採用され、高速、高精度な搬送によって、生産性アップを実現。既存のロボットハンドに後付けし、使用できる。反りの大きなシリコンウエハーの搬送への要望にも応える。

　セミコンジャパンの会場では、静電チャックの耐久性や周辺部品の耐プラズマ性能を向上させる、それぞれの高密度被膜技術、静電チャックのアセンブリーの向上技術を紹介するほかにも、特許取得済みの独自性の高い静電チャックを複数の種類にわたって紹介する。