2023.12.18 三井化学、アイメックと提携 EUV露光用CNT事業化へ
トーマス・ピリシュツクimecシニアバイスプレジント（左）と三井化学の平原彰男専務執行役員
三井化学とベルギーの研究機関imec（アイメック）は14日、極端紫外線（EUV）露光用のカーボンナノチューブ（CNT）技術の事業化に向け、戦略的パートナーシップ契約を締結したと発表した。2025～26年をめどに、高出力EUV露光向け製品の導入を目指す。
パートナーシップ契約は、CNT膜とペリクルを共同開発するもの。imecは三井化学での事業化に向けたコンサルテーションとEUV露光機での評価を担当する。
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