2024.05.31 JSRがYHCを完全子会社化　最先端半導体成膜分野の製品ポートフォリオ拡張

　JSRは、半導体用高純度化学薬品の製造販売を行うヤマナカヒューテック（YHC、京都市左京区）の全株式を取得し完全子会社化することで同社と合意し、株式譲渡契約を締結した。

　半導体デバイスの進化は、リソグラフィー技術発展による微細化と、デバイス構造革新により実現されている。複雑なデバイス構造の具現化に、緻密な膜を高度に制御して形成できるCVDおよびALD技術が必要不可欠で、素材であるCVD／ALDプリカーサーの重要性が極めて高ま...　　(つづく)