2024.08.28 米ラムリサーチがエッチングの新技術開発 3D-NANDメーカーに提供
米ラムリサーチはこのほど、同社の第3世代極低温絶縁膜エッチング技術「Lam Cryo3.0」を開発し、主要メモリーメーカーに提供していると発表した。
開発したのは独自の高パワーコンファイン（閉じ込め）プラズマリアクター、プロセス技術の改善、0度をはるかに下回る温度を活用したドライエッチング技術。3次元NAND型フラッシュメモリー（3D-NAND）メーカーは最大10マイクロメートルの深さのメモリーチャンネルを上層から下層までH... (つづく)
