2024.10.07 レーザーテック、SiCウエハー欠陥検査／レビュー装置 表面とPL検査を同時に
SICA108
レーザーテックは、表面検査およびフォトルミネッセンス（PL）検査の両方を備え、SiCウエハーの表面と内部の欠陥を高速に検出、高精度分類まで同時に行えるSiCウエハー欠陥検査／レビュー装置「SICA108」を製品化した。
SiCパワーデバイスは、電気自動車（EV）やエアコン、太陽光発電システム、鉄道車両などへの搭載が進み脱炭素社会の実現に貢献している。しかし、同デバイスはウエハー製造プロセスの難しさゆえに、いまだ製造工程におい... (つづく)
