2024.11.13 半導体「後工程」の完全自動化めざし、SATASが仕様作成・装置開発へ
NEDOの事業に採択
半導体の仕上げ段階、後工程の完全な自動化を実現するため、米インテルや国内の半導体装置メーカーなどでつくる半導体後工程自動化・標準化技術研究組合(SATAS)が仕様の作成、装置の開発、試験を進める。このほど新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の事業として実施が決まった。
SATASはインテル日本... (つづく)
半導体の仕上げ段階、後工程の完全な自動化を実現するため、米インテルや国内の半導体装置メーカーなどでつくる半導体後工程自動化・標準化技術研究組合(SATAS)が仕様の作成、装置の開発、試験を進める。このほど新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の事業として実施が決まった。
SATASはインテル日本... (つづく)
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