2025.07.16 レーザーテックがEUVペリクル検査の新装置　CNTペリクルに対応

EUVペリクル異物検査装置PELMIS「EPM200」

　レーザーテックは11日、EUV（極端紫外線）ペリクル異物検査装置「PELMIS」シリーズの新製品「EPM200」を発表した。ペリクルはマスクに異物が付着するのを防ぐ保護膜で、新製品は次世代EUVペリクルとして注目されるCNT（カーボンナノチューブ）ペリクルの検査に対応する。

　EPM200は、ペリクル面の異物検査に加え、付着異物の表裏自動分類機能や欠陥種別判定などの多様なアプリケーションを搭載する。

　最先...　　(つづく)