2025.07.18 精密位置決めチルトステージ、JAEとオオクマ電子が共同開発　ゆがみや傾きを高精度に補正

精密位置決めチルトステージ

　日本航空電子工業（JAE）とオオクマ電子（熊本市東区）は、精密位置決めステージ市場向けチルトステージを共同開発した。製造装置や検査装置におけるより高精度な制御に貢献する。

　近年、半導体市場では、微細化・高集積化に加え、3次元化の進展に伴い、製造装置や検査装置にはこれまで以上の高精度な制御が求められている。今回両社が開発した精密位置決めチルトステージは、装置の基本3軸（X軸、Y軸、Z軸）では補正が困難な、供試体の微細なゆがみや...　　(つづく)