2025.09.25 【最先端半導体の実現へ　セミコン台湾2025レポート】シンフォニアテクノロジー

梅津担当課長（右）と小木曽氏

PLP対応などの各種クリーン搬送システム展示

　シンフォニアテクノロジーは、ロードポートや基板自動搬送装置（EFEM）など各種クリーン搬送システムを展示した。

　ロードポートは半導体製造装置前面に設置され、ウエハー格納用ポッド（FOUP、SMIFなど）内のウエハーを出し入れする装置。同社のロードポート「SELOPシリーズ」は実績...　　(つづく)