2025.09.26 レジスト汚染を抑える多機能グラスライニング 神鋼環境ソリューションが注力 化学装置の展示会に出展
グラスライニングの多機能化に注力(17日、東京都)
神戸製鋼所グループの神鋼環境ソリューション(神戸市中央区)は、半導体の回路形成に欠かせない感光材料、フォトレジストをはじめ電子材料の製造工程で装置からの金属成分などの溶出による汚染を抑えるガラス複合材製内張、グラスライニングを多機能化した「Hybrid GL(ハイブリッドジーエル)」シリーズに注力している。東京ビッグサイト(東京国際展示場、東京都江東区)で17~19日に開催した化学装置などの展示会「インケム東京2025」に出展した。
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