2025.11.05 レーザーテック、新型EUVパターンマスク欠陥検査装置を製品化　高感度でスループット大幅向上

ACTIS A200HiTシリーズ

　レーザーテックは、ウエハーファブでEUVＥマスク品質管理の生産性を大幅に向上させる、アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置「ACTIS A200HiTシリーズ」を製品化した。

　同シリーズは、光学設計の最適化と検査システムを刷新し、スループットを大幅に向上させるとともに、ウエハーファブで発生するすべての転写性欠陥を検出する感度を実現した。現行機種「ACT―S A150」に比べ3倍の検査速度を達成、ウエハーファブでEUV...　　(つづく)