2025.12.05 半導体の「厚み」測るFiDiCa、AI・6Gで注目の複合ウエハー向け伸びる
基板の厚み測定に向くFiDiCaの新製品(11月、千葉市)
鉄鋼大手JFEグループの分析部門を担うJFEテクノリサーチ(東京都千代田区)は、産業機器メーカーの横顔も持つ。主力製品「FiDiCa(フィデカ)」は、半導体をはじめとした電子部品を切り出す前のウエハー(薄板)を撮影し、回路配線などを含んだ表面の薄膜にどれだけの厚みがあるか、細かなむらまで測定する。最近は薄膜を形成する前の基板を測定する新製品も登場した。背景には高速通信規格5G/6G移動体通信や人工知能(AI)が稼働するデータセンター向けに複数の基... (つづく)





