2020.08.03 ポータブル型の半導体材料ガス検知器新コスモス電機
ポータブルタイプの半導体材料ガス検知器XPS-7Ⅱ
新コスモス電機は、ポータブルタイプの半導体材料ガス検知器「XPS-7Ⅱ」を8月3日から発売する。価格23万5000円（税別）。初年度100台の販売を見込んでいる。
XPS-7Ⅱは、04年から販売している半導体材料ガス検知器「XPS-7」をリニューアルした。従来の特徴と機能に、半導体製造プロセスで使用頻度の高い三フッ化窒素（NF3）の検知機能を新たに加えた。NF3を検知できるポータブルガス検知器としては世界最小。
... (つづく)
