2020.09.28 京セラが全国発明表彰 発明賞を受賞低比重・低熱膨張コージェライト
コージェライト材料を用いた部品
京セラの半導体露光装置のウエハーステージ用材料の低比重・低熱膨張コージェライト（特許第5762522号）が「令和2年度全国発明表彰 発明賞」を受賞した。
半導体露光装置では半導体の微細化トレンドに応じ、露光処理時の熱による寸法変化を抑えた低熱膨張とステージ移動の高速化が可能な高比剛性を備えたウエハーステージ用材料が求められている。
京セラは高比剛性を有するセラミックスの一種であるコージェライトをウエハー... (つづく)
