2020.11.11 STがIME、ULVACと協力MEMS技術の8インチウエハー研究開発用ライン設置

STのアンモキョ工場（シンガポール）

　STマイクロエレクトロニクス（ST）は、A＊STAR（シンガポール科学技術研究庁）の研究機関であるIMEと、日本の主要製造装置ベンダーであるULVACと協力して、圧電式MEMS技術に特化した8インチ（200ミリメートル）ウエハーの研究開発用ラインをSTのアンモキョ工場（シンガポール）に設置して運用すると発表した。この世界初のLab-in-Fab型研究開発用ラインは、3パートナーの協力により圧電MEMS材料、圧電MEMS技術、製造装置の分野において...　　(つづく)