2020.12.11 セミコンジャパンバーチャル展示会に クリエイティブテクノロジーが出展パーティクルコレクター紹介

パーティクルコレクター

　クリエイティブテクノロジー（川崎市高津区、辰己良昭社長）は14－17日の間、半導体製造装置・材料の国際展示会「SEMICON Japan 2020 Virtual」にバーチャル出展する。同社のコア技術、静電チャックを応用した「パーティクルコレクター」をメーンに提案する方針だ。

　静電チャックは、電気的な力で全体を均一に吸着するため対象物への物理的な負担が少なく、金属箔やフィルムといった繊細な素材を傷つける心配がない。半導体製造...　　(つづく)