2021.03.18 【新技術】 機能性フィルムの簡便な表面ひずみ計測法を開発東工大と東大の研究グループ

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［図2］表面ラベルグレーティング法による表面ひずみの測定原理。レーザー光を入射した際に生じる回折光の角度変化からフィルムの曲げに伴う表面ひずみを簡便に計測することができる。（左）凹凸周期に依存した角度でレーザー光が回折する。（右）フィルム表面の曲げひずみによって凹凸周期が変化し、回折角度が変化する

［図2］表面ラベルグレーティング法による表面ひずみの測定原理。レーザー光を入射した際に生じる回折光の角度変化からフィルムの曲げに伴う表面ひずみを簡便に計測することができる。（左）凹凸周期に依存した角度でレーザー光が回折する。（右）フィルム表面の曲げひずみによって凹凸周期が変化し、回折角度が変化する

［図1］(a)フレキシブル電子デバイス。フレキシブルフィルム上に導電体や半導体を構築することで作製される。（左）一般的なフィルムを使用して作製されたデバイスは曲げに伴うフィルムの大きな表面ひずみにより破壊する。（右）本研究で開発したフィルムは小さな表面ひずみを示すため、大きく曲げてもデバイスは壊れない。（b）フィルムの厚さと表面ひずみの関係。フィルムの表面ひずみが材料の破断ひずみ（↕）を超えると、デバイス性能が低下する
［図2］表面ラベルグレーティング法による表面ひずみの測定原理。レーザー光を入射した際に生じる回折光の角度変化からフィルムの曲げに伴う表面ひずみを簡便に計測することができる。（左）凹凸周期に依存した角度でレーザー光が回折する。（右）フィルム表面の曲げひずみによって凹凸周期が変化し、回折角度が変化する

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