2021.05.28 EUVペリクル商業生産を開始三井化学が世界初

　三井化学は、世界初となる、EUV（極端紫外線）ペリクルの商業生産を岩国大竹工場（山口県和木町）で開始した。

　同社は、半導体露光装置で世界最大手の蘭ASML社からEUVペリクル事業のライセンス契約を受け、その設計と技術に基づいて同製品の生産設備を自社の岩国大竹工場に新設、商業生産を行うもの。半導体のさらなる微細化進展に対応していく。

　第5世代高速通信規格5Gシステム導入によるデータ通信の超高速化は、スマー...　　(つづく)