2021.06.07 【支える半導体製造】ミツトヨ高速の連続測定で時短化、ガス排出穴の径や位置精度判定
CNC（コンピューター数値制御）画像測定機「クイックビジョンプロ」
設計と製造を分ける水平分業が進んだ半導体業界では商品の立ち上げスピードが速く、各プロセスのタクト短縮が求められるが測定工程も例外ではない。
ミツトヨは、第5世代の非接触画像測定機「クイックビジョンプロ」を発売。CMOSイメージセンサーを内蔵し、高速度測定のニーズに応える。
画像測定機はイメージセンサーと顕微鏡ユニット、照明ユニットで構成。光学レンズで拡大した映像をイメージセンサーで撮像し、ソフトウエアで... (つづく)
