2021.06.21 【支える半導体製造】東亜ディーケーケー純水から排水まで分析

フッ化物イオンモニター「FBM-160」

「省試薬」で環境負荷軽減

　半導体製造では水や薬液が大量に使用される。東亜ディーケーケーの手掛ける分析計は、上流から下流まで純水や排水の品質をモニタリングするのに欠かせない。世界的な半導体増産基調で工場の新設計画も浮上する中、さらなる納入機会をうかがう。

　ウエハーの洗浄や薬品の洗い流し、フッ化水素（フッ酸...　　(つづく)