2021.09.15 TDS、半導体検査 素子に強み酸素計測、超音波に親会社技術
超音波トランスデューサー
東レエンジニアリングDソリューションズ（TDS）は、親会社・東レのセラミック技術などを生かし、素子から開発するメーカーであることを強みに、医療向けから半導体製造プロセスへのセンシング製品供給を強めている。
半導体製造でRTP（急速熱処理）などウエハーの熱処理をする際は装置内の酸素濃度の管理が重要になる。
センシング営業部長の松宮敬氏は「当社の酸素濃度計のほぼ半数が半導体関連向けに出荷している」と話す。特... (つづく)
