2021.12.17 ディープ・シリコン・エッチング技術を提供の新製品米ラムリサーチが次世代パワーデバイスなど向け

「Syndion GP」

　米半導体製造装置大手ラムリサーチはこのほど、車載や電力供給、エネルギー分野で使用される次世代のパワーデバイスやパワーマネジメントIC（PMIC）を開発するメーカー向けにディープ・シリコン・エッチング技術を提供する新製品「Syndion GP」を発表した。

　自動車やエネルギー分野の技術が高度になるにつれ、チップレベルで高電力、高性能、高密度への要求が増している。より高いアスペクト比構造を実現するためには、ウエハー間でより高い均...　　(つづく)