2022.03.02 HVPE法で6インチウエハーに酸化ガリウム成膜世界初、NCT、大陽日酸などが成功

　タムラ製作所の子会社・ノベルクリスタルテクノロジー（NCT、埼玉県狭山市）と大陽日酸、東京農工大学、新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）は1日、次世代半導体材料として注目される酸化ガリウムを、ハライド気相成長（HVPE）法で6インチウエハー上に成膜することに世界で初めて成功したと発表した。

　大口径かつ複数枚のエピウエハーを製造可能な成膜装置の開発を大きく進展させるもの。成膜コストが課題となっていた酸化ガリウムのエピ...　　(つづく)