6インチウエハー上に成膜された酸化ガリウム
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HVPE法で6インチウエハーに酸化ガリウム成膜 世界初、NCT、大陽日酸などが成功
NCTなどが成功のHVPE法での6インチウエハー上の酸化ガリウム成膜 成膜条件の最適化などで前進
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