2022.03.16 NCTと佐賀大が開発第3世代酸化ガリウム100ミリメートルエピウエハー

第3世代酸化ガリウム100ミリメートルエピウエハー

キラー欠陥10分の1に低減　100A級のパワーデバイス

　タムラ製作所からのカーブアウトベンチャー、ノベルクリスタルテクノロジー（NCT、埼玉県狭山市）と佐賀大学が発表した、第3世代酸化ガリウム100ミリメートルエピウエハーの開発。エピ成膜条件を改良することで、デバイスの耐圧特性を劣化させるキラー欠陥を大きく減らすことに成功した。製品化へ大きな前進...　　(つづく)